| ZHKDY-1型四探针电阻率测试仪是我公司严格按照硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）及标准设计制造，并针对目前常用的四探针电阻率测试仪存在的问题加以改进。整套仪器有如下特点 1、配有双数字表：一块数字表在测量显示硅片电阻率的同时，另一块数字表（以**之几的精度）适时监测过程中的电流变化，使操作*简便，测量*。 数字电压表量程：0—199.99mV 灵敏度：10μV 输入阻抗：1000ΜΩ 基本误差±(0.04-0.05%读数+0.01%满度) 2、可测电阻率范围：10—4 —1.9×104Ω·cm。 可测方块电阻范围：10—3 —1.9×105Ω/□。 3、设有电压表自动复零功能，当四探针头1、4探针间未有测量电流流过时，电压表指零，**1、4探针接触到硅片，测量电流渡过单晶时，电压表才指示2、3探针间的电压（即电阻率）值，避免空间杂散电波对测量的干扰。 4、流经硅片的测量电流由高度稳定（**之五精度）的**恒流源提供，不受气候条件的影响，整机测量精度＜3%。 电流量程分五档：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。 5、仪器采用触点电阻*低（＜5mΩ）、使用寿命*长的转换开头及继电器（＞10**），在*缘电阻、电流容量方面留有*大的系数，提高了测试仪的性和使用寿命。 6、可加配HQ-710E微处理机及打印机，实现自动换向测量、求平均值，计算并打印电阻率值、值、百分变化率、平均百分变化率等内容。 7、可加配电脑，使用软件进行数据采集,实现自动换向测量、存储,求平均值，值、值、百分变化率、平均百分变化率等内容。 8、可配KDDJ-2电动测试架，自动上下运行，使测量*方便快捷。 9、四探针头采用上的红宝石轴套导向结构，使探针的游移率减小，测量重复性提高（****局已于2005.02.02授予权，号：ZL03274755.1）。 |